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      產品名稱: 化學機械磨拋機

      產品型號: UNIPOL-1203

      產品編號: 02030000

      瀏覽次數: 2618

      技術參數
      設備視頻
      附件下載

      UNIPOL-1203化學機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。 1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。
      2、超精旋轉軸(托盤端跳小于0.01mm)。
      3、設有兩個加工工位,可分別進行控制。
      4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。
      5、配置自動滴料器,流量速率可視化調整,自動研磨和拋光。
      6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調節壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。
      7、研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕。

      產品名稱      
      UNIPOL-1203化學機械磨拋機
      產品型號      
      UNIPOL-1203
      安裝條件      
      本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
      1、水:設備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及排水
      2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
      3、氣:無
      4、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上
      5、通風裝置:不需要
      主要參數      
      主機部分
      1、電源:220V
      2、功率:450W
      3、磨拋盤轉速:10-240rpm
      4、磨拋工位:2個
      5、擺臂調節檔位:1-15檔
      6、托盤端跳:0.008/250mm
      7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm
      8、載樣盤:φ105mm
      9、修盤環:φ127.5mm
      GPC-100A精密磨拋控制儀
      1、載樣盤直徑:?103mm
      2、載樣盤軸向行程:12mm
      3、數顯表精度:0.001mm
      4、載樣盤可調加載壓力: 0.1kg-2.1kg
      5、壓力確認儀有效量程:1g-5000g
      6、樣品裝卡方式:真空吸附
      7、承載樣件尺寸:直徑≤103mm、 厚度≤12mm
      8、尺寸:外徑146mm,高266mm
      自動滴料器
      SKZD-2滾筒滴料器
      1、容積:1.5L
      2、流量:0-35ml/min
      3、尺寸:170×290×350mm;
           重量:3kg
      SKZD-4自動滴料器
      1、加液泵:4個
      2、料液瓶:600ml/瓶
      3、計時范圍:1-999min
      4、流量:0.1ml/min-10ml/min
      5、尺寸:230×370×450mm;
           重量:10kg
      產品規格      

      1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm
      2、重量:74Kg

      序號 名稱 數量 圖片鏈接
      1 鑄鐵磨盤(Ф300mm花盤)
      1個
      2 不銹鋼磨盤(Ф300mm平盤)
      1個
      3 載物盤(陶瓷) 1個
      4
      1個
      5

      拋光墊

      (磨砂革、合成革、聚氨酯)

      各1片

      6 磁力片(帶背膠)
      2片

      7 研拋底片
      2片

      8

      剛玉研磨微粉

      0.5kg

      9 石蠟棒
      4根

      10
      二氧化硅懸浮拋光液 2040 W0.05
      1瓶

      序號
      名稱
      功能類別
      圖片鏈接
      1 YJXZ-12攪拌循環泵
      (可選)

      2 精密測厚儀
      (可選)

      3 陶瓷研磨盤
      (可選)

      4 玻璃研磨盤
      (可選)

      5 磁性樹脂金剛石研磨片
      (可選)

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