<acronym id="brljj"><strong id="brljj"></strong></acronym>
<p id="brljj"><strong id="brljj"><xmp id="brljj"></xmp></strong></p>
    1. <li id="brljj"><ruby id="brljj"></ruby></li>

    2. 客服
      留言
      返回頂部

      工作時間

      周一至周五:8:00-11:30 12:30-17:00

      產品中心

      Products Center

      #

      產品名稱: 小型等離子清洗機

      產品型號: PCE-6

      產品編號: 11040203

      瀏覽次數: 1627

      技術參數
      設備視頻
      附件下載

      PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 ?160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。PCE-6小型等離子清洗機體積小,占用的空間少,可有效節約實驗室空間。PCE-6小型等離子清洗機配有一個雙旋真空泵,可對腔體進行抽真空,同時通入氬氣等氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。1、通過控制面板的按鍵及開關,可控制調節射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。
      2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數碼管上。
      3、設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體,進氣接口為6mm卡套接口。
      4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

      產品名稱      
      PCE-6小型等離子清洗機
      產品型號      
      PCE-6
      主要參數      
      1、電源:AC220V  50/60Hz
      2、輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W
      3、真空泵功率:<500W
      4、總功率:<600W
      5、射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調節
      6、等離子腔體:高純石英腔體?160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有?45mm的觀察窗
      7、真空泵:120L/min,直連式雙旋真空泵
      8、極限真空度:50mtorr

      9、通入氣體:可通入多種氣體來產生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據材料性質選定)

      清洗及蝕刻

      產品規格      

      尺寸:400mm×300mm×300mm

      重量:10.2kg

      可選配件       1、2"-6"石英舟(盛放基片)
      2、2-4通道質子或浮子混氣系統

      相關文章

      免責聲明

      本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r,或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,科晶公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知。

      在線留言

      請填寫表格與我們聯系

      看不清楚,換一張
      米奇影院
      <acronym id="brljj"><strong id="brljj"></strong></acronym>
      <p id="brljj"><strong id="brljj"><xmp id="brljj"></xmp></strong></p>
      1. <li id="brljj"><ruby id="brljj"></ruby></li>