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      首頁研磨拋光機化學機械磨拋機 > UNIPOL-1203化學機械磨拋機
      • 產品名稱: UNIPOL-1203化學機械磨拋機
      • 上架時間: 2019-12-03
      • 產品編號: 02030000
      • 瀏覽次數: 2139

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      產品簡介:UNIPOL-1203化學機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。 

       

      產品名稱

      UNIPOL-1203化學機械磨拋機

      安裝條件

      本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

      1、水:設備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及下排水

      2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

      3、氣:無

      4、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上

      5、通風裝置:不需要

      主要特點

      1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。

      2、超精旋轉軸(托盤端跳小于0.01mm)。

      3、設有兩個加工工位,可分別進行控制。

      4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。

      5、配置自動滴料器,流量速率可視化調整,自動研磨和拋光。

      6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調節壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。

      7、研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕。

      技術參數

      主機部分

      GPC-100A精密磨拋控制儀

      自動滴料器

      1、電源:220V

      2、功率:450W

      3、磨拋盤轉速:10-240rpm

      4、磨拋工位:2個

      5、擺臂調節檔位:1-15檔

      6、托盤端跳:0.008/250mm

      7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm

      8、載樣盤:φ105mm

      9、修盤環:φ127.5mm

       

       

      1、載樣盤直徑:Ø103mm

      2、載樣盤軸向行程:12mm

      3、數顯表精度:0.001mm

      4、載樣盤可調加載壓力:

                  0.1kg-2.1kg

      5、壓力確認儀有效量程:1g-5000g

      6、樣品裝卡方式:真空吸附

      7、承載樣件尺寸:

        直徑≤103mm、 厚度≤12mm

      8、尺寸:外徑146mm,高266mm

       

      SKZD-2滾筒滴料器

      1、容積:1.5L

      2、流量:0-35ml/min

      3、尺寸:170×290×350mm;

        重量:3kg

      SKZD-4自動滴料器

      1、加液泵:4個

      2、料液瓶:600ml/瓶

      3、計時范圍:1-999min

      4、流量:0.1ml/min-10ml/min

      5、尺寸:230×370×450mm;

        重量:10kg

      產品規格

      1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm

      2、重量:74Kg

      標準配件

      1

      鑄鐵研磨盤 1個 研磨盤

      2

      不銹鋼拋光盤

      1個

      3

      載物盤

      1個

      4

      修盤環

      1個

      5

      SKZD-2滴料器

      1個

      滴料器

      6

      SKZD-4自動滴料器

      1個

      滴料器

      7

      GPC-100A精密磨拋控制儀

      1個

      8

      拋光墊

      (磨砂革、合成革、聚氨酯)

      各1片

      9

      剛玉研磨微粉

      0.5kg

      10

      石蠟棒

      4根

      可選配件

      1、YJXZ-12攪拌循環泵

      2、精密測厚儀

      3、陶瓷研磨盤

      4、玻璃研磨盤

      5、磁性樹脂金剛石研磨片

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